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发明名称 SENSOR USING PIEZOELECRONIC NANO STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR20110116851(A) 申请公布日期 2011.10.26
申请号 KR20100036502 申请日期 2010.04.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHA, SEUNG NAM;KIM, JONG MIN;PARK, YOUNG JUN
分类号 G01N27/00;B82B3/00;H01L41/18 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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