| 发明名称 |
检视样品表面之系统及方法以及辨识缺陷之系统及方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI350914 |
申请公布日期 |
2011.10.21 |
| 申请号 |
TW093123449 |
申请日期 |
2004.08.05 |
| 申请人 |
瑟普特科技公司 美國 |
发明人 |
杰佛瑞 亚伦 霍桑;Ｍ 布伦登 史提尔;金谷侯;大卫Ｃ 索威尔 |
| 分类号 |
G01N27/00 |
主分类号 |
G01N27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种检视样品表面之方法，该方法系藉着一个检视系统而实施，该方法系包含下列步骤：提供一样品，其具有一表面；提供一非振动式接点电位差感测器；藉着引起于该非振动式接点电位差感测器与样品表面之间的相对运动，而以该非振动式接点电位差感测器扫描该样品之表面；测量于该样品表面与非振动式接点电位差感测器之间的接点电位差；及产生该样品表面之一形态特征的一第一讯号部分特性。 |
| 地址 |
美国 |
