发明名称 用于增强基材承载件操作之方法及设备
摘要
申请公布号 TWI350812 申请公布日期 2011.10.21
申请号 TW095103794 申请日期 2006.02.03
申请人 應用材料股份有限公司 美國 发明人 德斐拉麦可;布里亚米特;英格哈德特艾力克
分类号 B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种方法,其至少包含以下步骤:接收一第一讯号,该第一讯号指示位于与一机台相关之一载入埠处之一承载件的内容物状态,其中该状态表示(1)该承载件是否含有一或多个需由该机台处理之基材,或(2)该承载件是空的或仅含有一或多个已经由该机台处理过之基材;接收一第二讯号,该第二讯号指示该承载件已经准备好从该载入埠移出;以及基于该第一讯号及该第二讯号执行该承载件之传输,其中执行该传输的步骤系由一适于接收该第一讯号及该第二讯号之承载件处理器实施,且该承载件处理器可操作以移出一空的承载件,而使该载入埠可为一第二承载件使用。
地址 美国