| 发明名称 |
RUTHENIUM-CONTAINING PRECURSORS FOR CVD AND ALD |
| 摘要 |
Disclosed are ruthenium-containing precursors and methods of using the same in CVD and ALD.
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| 申请公布号 |
US2011256721(A1) |
申请公布日期 |
2011.10.20 |
| 申请号 |
US20100981798 |
申请日期 |
2010.12.30 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR I'ETUDE ET I'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
GATINEAU SATOKO |
| 分类号 |
H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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