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发明名称 SUBSTRATE PLANARIZATION WITH IMPRINT MATERIALS AND PROCESSES
摘要
申请公布号 EP2376982(A1) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 EP20100729417 申请日期 2010.01.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BURNS, SEAN;BRODSKY, COLIN;BURNS, RYAN
分类号 G03F7/00;G03F7/027;G03F7/09;G03F7/16;H01L21/02 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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