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发明名称 HEATING PIPE FOR EXHAUST LINE STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION PROCESS
摘要
申请公布号 KR101075170(B1) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 KR20110010276 申请日期 2011.02.01
申请人 SEMICONDUCTOR MATERIAL INCORPORATED CO., LTD. 发明人 JEON, WON GU
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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