发明名称 |
压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头 |
摘要 |
本发明涉及压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头。该压电元件具有由第一电极和第二电极夹持的压电体层,第一电极包括:第一导电层,其具有在压电体层侧的第一面;和第二导电层,其被形成于第一面上,并具有在第一面侧的第二面,在自第一面的法线方向观察,将由相互重叠的第一电极、压电体层和第二电极所构成的部分作为驱动部时,第二导电层的至少一部分,被配置于比驱动部内的第一面的外周边靠内侧,第二面的面积比驱动部内的第一面的面积小,第二导电层以镍酸镧为主要成分。从而,提供了具有高可靠性的压电元件、压电致动器,液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件的制造方法等。 |
申请公布号 |
CN102222762A |
申请公布日期 |
2011.10.19 |
申请号 |
CN201110077424.4 |
申请日期 |
2011.03.24 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
中山雅夫;羽广英树 |
分类号 |
H01L41/047(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/22(2006.01)I;B41J2/045(2006.01)I;B41J2/135(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/047(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李伟;阎文君 |
主权项 |
一种压电元件,具有由第一电极和第二电极夹持的压电体层,上述第一电极包括:第一导电层,其具有在上述压电体层侧的第一面;和第二导电层,其被形成于上述第一面上,并具有在上述第一面侧的第二面,在自上述第一面的法线方向观察,将由相互重叠的上述第一电极、上述压电体层和上述第二电极所构成的部分作为驱动部时,上述第二导电层的至少一部分,被配置于比上述驱动部内的上述第一面的外周边靠内侧,上述第二面的面积比上述驱动部内的上述第一面的面积小,上述第二导电层以镍酸镧为主要成分。 |
地址 |
日本东京都 |