发明名称 压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头
摘要 本发明涉及压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头。该压电元件具有由第一电极和第二电极夹持的压电体层,第一电极包括:第一导电层,其具有在压电体层侧的第一面;和第二导电层,其被形成于第一面上,并具有在第一面侧的第二面,在自第一面的法线方向观察,将由相互重叠的第一电极、压电体层和第二电极所构成的部分作为驱动部时,第二导电层的至少一部分,被配置于比驱动部内的第一面的外周边靠内侧,第二面的面积比驱动部内的第一面的面积小,第二导电层以镍酸镧为主要成分。从而,提供了具有高可靠性的压电元件、压电致动器,液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件的制造方法等。
申请公布号 CN102222762A 申请公布日期 2011.10.19
申请号 CN201110077424.4 申请日期 2011.03.24
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 中山雅夫;羽广英树
分类号 H01L41/047(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/22(2006.01)I;B41J2/045(2006.01)I;B41J2/135(2006.01)I 主分类号 H01L41/047(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 李伟;阎文君
主权项 一种压电元件,具有由第一电极和第二电极夹持的压电体层,上述第一电极包括:第一导电层,其具有在上述压电体层侧的第一面;和第二导电层,其被形成于上述第一面上,并具有在上述第一面侧的第二面,在自上述第一面的法线方向观察,将由相互重叠的上述第一电极、上述压电体层和上述第二电极所构成的部分作为驱动部时,上述第二导电层的至少一部分,被配置于比上述驱动部内的上述第一面的外周边靠内侧,上述第二面的面积比上述驱动部内的上述第一面的面积小,上述第二导电层以镍酸镧为主要成分。
地址 日本东京都