摘要 |
Vorrichtung zur Plasma-Behandlung von beliebigen Oberflächen mittels dielektrisch behinderter Entladungen (DBE), umfassend DBE-Stiftelektroden, die nebeneinander in einer Ebene zu einem Array angeordnet sind und axial frei beweglich sind, so dass sich die Position der Stiftelektroden beim Aufsetzen auf die zu behandelnde Oberfläche an deren Oberflächenform anpasst.
|