| 摘要 |
<p>본 발명은 유기박막 형성장치에 관한 것으로서, 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 증발 또는 승화되는 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서, 상기 증발원은, 상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니; 상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부; 상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부; 상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부; 상기 열차단부의 개구부를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터와, 상기 셔터가 회동되도록 상기 셔터의 단부에 설치되는 힌지축과, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 개구부의 중앙부터 개방되는 정도를 조절하도록 상기 힌지축에 연결되어 상기 셔터를 상호 대향되게 회동시키는 개폐수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 증발원의 이동이 자유롭고, 셔터의 동작을 정밀하게 제어할 수 있으며, 셔터가 유리기판에 증착되는 유기재료의 두께를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.</p> |
