一种单晶炉加热系统

摘要

一种单晶炉加热系统，涉及熔融单晶硅炉装置的领域，包括炉底、炉室和炉盖，炉室包括下炉室和主炉室，炉盖的上端设置炉口，炉室内设置保温桶、下保温层和上保温层，保温桶包括下保温桶、中保温桶和上保温桶，炉室与保温桶之间设置碳毡保温层；炉底上穿置坩埚托杆，坩埚托杆的上端设置三瓣埚底座，三瓣埚底座的上方设置三瓣埚，三瓣埚内设置石英坩埚，石英坩埚的上方设置外导流筒，外导流筒内设置内导流筒；保温桶与三瓣埚之间设置加热器，加热器的下端连接两个石墨电极，下保温桶上连接排气管。本发明加热器的外周有下保温桶、中保温桶和上保温桶，外导流筒和内导流筒的上端有上保温层和下保温层，使得保温效果好，温度均衡、结晶均匀。

主权项

一种单晶炉加热系统，其特征在于：包括炉底、炉室和炉盖，炉室包括下炉室和主炉室，下炉室连接在炉底的上方，主炉室连接在下炉室的上方，炉盖连接在主炉室的上方，炉盖的上端设置炉口，所述炉室内设置环形保温桶、下保温层和上保温层，所述炉室与保温桶之间设置碳毡保温层，保温桶包括下保温桶、中保温桶和上保温桶，中保温桶设置在下保温桶的上方，上保温桶设置在中保温桶的上方，下保温层设置在上保温桶的上方，上保温层设置下保温层的上方；所述炉底上穿置坩埚托杆，坩埚托杆的上端设置在保温桶内，坩埚托杆的上端设置三瓣埚底座，三瓣埚底座的上方设置三瓣埚，三瓣埚内设置石英坩埚，石英坩埚的上方设置外导流筒，外导流筒的上端搁置在下保温层的内周，外导流筒内设置内导流筒，内导流筒的上端搁置在外导流筒的上端；所述保温桶与三瓣埚之间设置加热器，加热器的下端连接两个石墨电极，两个石墨电极的下端分别设置在所述炉底的下方，所述下保温桶上连接排气管。