发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF SILICON CARBIDE LAYER, GALLIUM NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICE AND SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1891663(A4) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 EP20060766412 申请日期 2006.05.23
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 UDAGAWA, TAKASHI
分类号 H01L21/205;C30B25/02;C30B29/36;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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