一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉

摘要

一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，包括炉盖、炉体和炉座，所述炉盖、炉体连接为一体，在所述炉盖、炉体中设有保温罩组成钟罩式结构而整体坐装在所述炉座上；在所述炉座上设有三根或六根同圆周均布的立杆式发热体，在所述保温罩内设有与所述发热体数量相匹配的料柱室，所述料柱室上设置有布气环。本发明结构合理、能耗小、产能高，采用内热式多发热体三相平衡组合式结构，炉子结构紧凑节能。有效掌控热梯度，实现相关物理场的耦合，提高CVD质量和效率。采用多层式预热环式旋流供气，提高反应室气氛均匀度。采用独立反应室的多料柱装料，大大扩大炉子产能和提高热效率。适用于制备C/C复合材料刹车盘及炭/陶复合材料环形多工件的增密。

主权项

一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉，包括炉盖、炉体和炉座，所述炉体、炉盖采用不锈钢水冷外壳，其特征在于；所述炉盖和炉体可分离也可连接为一体，在所述炉盖‑炉体中固定于炉体安置有保温罩，由此组成钟罩式结构而整体坐装在所述炉座上；在所述炉座内，安置有刚性不锈钢质大支承台，该支承台上安置有由上部带有盖子、底部带有环形料柱座的圆筒状马弗护墙构成的三个或六个相互独立且垂直站立的料柱室，三个或六个料柱室沿园周均布，其中轴线分别与园心位于炉体中轴线的同一水平园周相交，且均匀分布在保温罩之内；在所述炉座和大支承台下部所围成的底部空间内于底座内壁上方安置有不锈钢质小支承台，该支承台上安置有三相发热体中线石墨质底板，三根或六根立杆式发热体的外筒下端头紧固在该中线底板上；所述三根或六根立杆式发热体分别穿过大支承台台面板和各料柱座的中心孔进入料柱室，处于所述各料柱室的中轴线上；在所述六个独立的料柱室所围成的中部空间还设有一个相同结构的料柱室；所述每一个料柱室侧壁上分别设有布气环；安置于小支承台上的三相立杆式发热体与大支承台和料柱室之间通过插入耐热绝缘陶瓷构件或设置空隙实现电气绝缘。