电介质阻挡层膜

摘要

依照本发明，提出一种电介质阻挡层。依照本发明的阻挡层包含用脉冲-DC、衬底偏压的物理气相沉积法沉积在衬底上的致密化的无定形电介质层，其中致密化的无定形电介质层是阻挡层。依照本发明的形成阻挡层的方法包括提供衬底，并用脉冲-DC、偏压、宽靶物理气相沉积方法在衬底上沉积高度致密的、无定形的、电介质材料。而且，该方可以包括在衬底上进行软金属透气处理。这样的阻挡层可以用作电学层、光学层、免疫学层或摩擦层。

主权项

一种阻挡结构，该阻挡结构包含：以物理气相沉积溅射法沉积在衬底上的致密化的无定形电介质层，其中所述衬底在沉积过程中是偏压的，通过窄带阻滤波器，基于与衬底偏压相关的频率，靶接收脉冲DC电势，其中所述致密化的无定形电介质层形成阻挡结构，所述阻挡结构包括至少一种阻挡层。