| 发明名称 | 沉积蒸发源 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种沉积蒸发源，其包括加热装置、放置于该加热装置上方的加热板和放置于所述加热板上的蒸发材料，其中所述加热板上均匀地设有贯穿所述加热板的通道。根据本发明的沉积蒸发源能够有效地解决由在蒸发过程中蒸发物质所处的工作气氛不一致而导致沉积薄膜的光电特性欠佳的问题。根据本发明的沉积蒸发源能够使得沉积薄膜的结构、光电特性一致，从而获得高品质的沉积薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN102214730A | 申请公布日期 | 2011.10.12 |
| 申请号 | CN201010149792.0 | 申请日期 | 2010.04.12 |
| 申请人 | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 | 发明人 | 雷智;邹志杰 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 臧霁晨;李家麟 |
| 主权项 | 一种沉积蒸发源，包括：加热装置；加热板，放置于所述加热装置上方；和蒸发材料，放置于所述加热板上，其特征在于，所述加热板上均匀地设有贯穿所述加热板的通道。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6 | ||