一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉

摘要

本发明实施例公开了一种多晶硅铸锭炉热场，包括保温隔热笼体，保温隔热顶板，保温隔热底板，带坩埚的热交换台和加热器，保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔，多晶硅铸锭炉热场还包括设置在坩埚顶部的用于遮盖坩埚的遮挡盖板，遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔，且遮挡盖板的出气孔与保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。本发明还提供了一种多晶硅铸锭炉。能够直接将硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体直接排出到热场或者多晶硅铸锭炉外部，提高了热场以及多晶硅铸锭炉的使用寿命，降低了生产成本，同时也可减少硅锭的碳污染，本方案特别适用于硅粉及其他硅料的提纯。

主权项

一种多晶硅铸锭炉热场，包括保温隔热笼体，所述保温隔热笼体上部的保温隔热顶板和底部的保温隔热底板，置于所述保温隔热笼体内部的带坩埚的热交换台和加热器，其特征在于，所述保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔，所述多晶硅铸锭炉热场还包括设置在所述坩埚顶部的用于遮盖所述坩埚的遮挡盖板，所述遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔，且所述遮挡盖板的出气孔与所述保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。