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经营范围
发明名称
Metrology stage for lithography applications
摘要
申请公布号
EP1701216(B1)
申请公布日期
2011.10.12
申请号
EP20060251118
申请日期
2006.03.01
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
VAN DE KERKHOF, MARCUS ADRIANUS;VOS, HARALD PETRUS CORNELIS
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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