OPTICAL PROXIMITY CORRECTION USING CHAMFERS AND ROUNDING AT CORNERS

摘要

기판 상에 형성될 디자인을 최적화하는 방법이 개시되어 있다. 상기 방법은, 상기 디자인의 이미지의 1 이상의 코너의 라운딩을 근사화하는 단계; 상기 1 이상의 코너의 근사 라운딩에 더해 상기 디자인의 표시를 생성하는 단계; 상기 표시를 토대로 상기 디자인을 묘화하는데 이용되는 마스크의 초기 표시를 생성하는 단계; 및 상기 마스크의 상기 초기 표시에 더해 광근접성보정(OPC)을 수행하는 단계를 포함한다.