Method of lift-off and fabricating array substrate for liquid crystal display device using the same

摘要

또한, 본 발명에서는 포토레지스트 패턴 상부에 저온 증착이 가능한 스퍼터링법으로 리프트 오프 공정의 대상 물질층을 증착함으로써, 포토레지스트 패턴에 대한 손상을 방지하여, 리프트 오프 공정 특성과 액정표시장치의 품질을 향상시킬 수 있다.