APPARATUS FOR TEST HANDLER TO ADJUST INTERVAL OF CARRIER BOARD, TEST HANDLER AND CARRIER BOARD CIRCULATING METHOD IN TEST HANDLER

摘要

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 간격조절장치, 테스트핸들러 및 테스트핸들러에서의 캐리어보드 순환방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 복수의 캐리어보드를 테스트챔버 측으로 보내기에 앞서 복수의 캐리어보드의 적재면 사이의 간격을 조절할 수 있도록 하여 소크챔버의 수용 용량을 확장시켜 반도체소자의 예열/예냉 시간(소크타임)을 충분히 확보할 수 있도록 한 테스트핸들러에 관한 새로운 기술들이 소개된다.