| 摘要 |
<p>부품 공급 장치(4)의 플레이트 배치 장치(12)에 배치되는 플레이트(6, 6w, 6t)의 종류에 따라, 트레이 공급용 플레이트(6t)에 대해서는, 플레이트 압압체(61)의 하강 위치의 규제를 실행함으로써, 그 유지를 확실하게 하고, 한편, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)에 대해서는, 상기 하강 위치의 규제를 해제함으로써, 상기 웨이퍼 공급용 플레이트를 확실하게 유지하면서, 웨이퍼에의 익스팬드를 실행하여, 상기 플레이트의 종류에 따라, 적절한 유지 동작이나 익스팬드 동작을 선택적으로, 또한 자동적으로 실행한다.</p> |
