| 摘要 |
<p>본 발명은 알칼리 가용성 고분자 화합물, 광중합성 단량체, 광중합 개시제 및 기타첨가제를 포함하는 샌드블라스트 레지스트용 감광성 수지 조성물에서, 알칼리 가용성 고분자 화합물로 우레탄 화합물, (메타)아크릴산, 및 1종 이상의 극성기를 함유한 화합물로부터 제조된 공중합체; 및 카르복시기 함유 셀룰로오즈 화합물을 혼합 사용한 감광성 수지 조성물로부터 제조된 드라이 필름 포토레지스트는 샌드블라스트의 탄성과 유연성이 우수하고, 현상액에 대한 내알칼리 약품성과 세선밀착력이 우수하다.</p> |
