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发明名称 TEST HEAD AND SEMICONDUCTOR WAFER TEST APPARATUS COMPRISING SAME
摘要
申请公布号 US2011241716(A1) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 US201113022861 申请日期 2011.02.08
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 DOI ATSUYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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