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发明名称 MICRO PLATFORM FOR GAS SENSOR ARRAY
摘要
申请公布号 KR20110108527(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20100027762 申请日期 2010.03.29
申请人 KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INSTITUTE 发明人 PARK, KWANG BUM;KIM, SEONG DONG;PARK, JOON SHIK
分类号 G01N27/12;G01N27/02;H01L21/28 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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