| 发明名称 |
MICROFABRICATED OBJECT, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, AND ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110109809(A) |
申请公布日期 |
2011.10.06 |
| 申请号 |
KR20107018855 |
申请日期 |
2009.12.17 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
ENDOH SOHMEI;HAYASHIBE KAZUYA;SHIMIZU KOICHIRO |
| 分类号 |
G02B1/11;B29C33/38;B29L11/00;G02B1/02 |
主分类号 |
G02B1/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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