发明名称 |
陶瓷镀铜基板制造方法及其结构 |
摘要 |
本发明涉及一种陶瓷镀铜基板制造方法及其结构,其包含:选定一陶瓷基板;利用溅镀制程在陶瓷基板表面形成一镍金属层;将一铜金属层镀膜于镍金属层上;应用压膜、曝光显影与蚀刻制程等方式来形成线路图案;以及把铜金属层上的抗蚀刻干膜剥除形成一陶瓷镀铜基板。本发明的陶瓷基板表面先进行溅镀镍金属层,使其表面金属化或完成镀通孔壁作用,而镍金属层可与铜金属层共享相同的蚀刻药水来制作线路图案,故具有一般性印刷电路板的制程考虑,有效减化制程并且降低材料及制造成本,亦有效地提升陶瓷基板与各金属镀层之间的抗撕离或黏合强度,藉以强化整体的结构强度。 |
申请公布号 |
CN102208352A |
申请公布日期 |
2011.10.05 |
申请号 |
CN201010134056.8 |
申请日期 |
2010.03.29 |
申请人 |
佑每佑科技股份有限公司 |
发明人 |
胡泉凌;陈誉尉;林舜天;蔡镇隆 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/15(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京高默克知识产权代理有限公司 11263 |
代理人 |
陆式敬 |
主权项 |
一种陶瓷镀铜基板制造方法,其特征在于包含以下步骤:选定一陶瓷基板;利用溅镀制程在上述陶瓷基表面形成一镍金属层;将一铜金属层以镀膜方式成型于上述镍金属层上;应用压膜、曝光显影与蚀刻制程等方式来形成线路图案;以及将铜金属层上的抗蚀刻干膜剥除形成一陶瓷镀铜基板。 |
地址 |
塞舌尔共和国马埃岛柏菲德恩斯工业区兹柏罗尔街蒂克房1楼 |