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发明名称
摘要
申请公布号 JP4786031(B2) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 JP20000510154 申请日期 1998.07.29
申请人 发明人
分类号 C01B31/02;B01J19/00;C23C16/26;H01J1/02;H01J1/05;H01J1/30;H01J1/304;H01J29/04;H01J31/12;H01L29/78 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人
主权项
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