| 发明名称 | 用于减废系统的废气冷凝物移除装置 | ||
| 摘要 | 本发明描述用于减废系统的废气冷凝物移除装置以及从减废系统移除废气冷凝物的方法。废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉互换。另一废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉互换。 | ||
| 申请公布号 | CN102210005A | 申请公布日期 | 2011.10.05 |
| 申请号 | CN200980144940.5 | 申请日期 | 2009.11.09 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 菲尔·钱德勒;肖恩·W·柯若弗德 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置，所述废气冷凝物移除装置包含：机壳排气装置；及处理气体排气装置，所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||