| 发明名称 | 用于光刻机照明顶部模块的安装维护机构 | ||
| 摘要 | 用于光刻机照明顶部模块的安装维护机构，包含升降装置和若干连接所述升降装置和照明顶部模块的调整定位装置，升降装置包含设置在照明底部模块两侧的升降机构和连接所述升降机构的传动机构，传动机构带动升降机构实现升降，调整定位装置对照明顶部模块进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度的精确定位调整，安装定位调整方便，重复定位精度高，加工工艺性得到提高。本发明使掩模台的承版台和投影物镜上部的镜片的维修维护工作可以方便地进行，同时提高照明顶部模块的安装定位精度和复位精度。 | ||
| 申请公布号 | CN102207684A | 申请公布日期 | 2011.10.05 |
| 申请号 | CN201010137220.0 | 申请日期 | 2010.03.31 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 程德胜 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于光刻机照明顶部模块的安装维护机构，其特征在于，该安装维护机构包含升降装置(13)和若干调整定位装置(17)，该若干调整定位装置(17)分别连接所述升降装置(13)和照明顶部模块(12)；所述的升降装置(13)包含设置在照明底部模块(15)两侧的升降机构和连接所述升降机构的传动机构。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张东路1525号 | ||