管道加热保温装置

摘要

本实用新型涉及一种管道加热保温装置。这种管道加热保温装置包括保温箱，所述保温箱内设有供气体管道穿越的通道，通道的内径和管道的外径大小匹配，所述保温箱内还设有加热金属丝，所述加热金属丝设于所述通道的侧边并随通道延伸，所述加热金属丝外接电源。本实用新型通过采用保温箱，并在保温箱内开设大小与管道的相匹配的通道，可避免保温箱和管道之间存在间隙，从而可以确保保温箱内的加热金属丝的热量及时地传导到管道，进而，确保管道内的反应气体具有足够高的温度并能及时地输送到硅片表面的淀积区域，保证生产的顺利进行。另外，保温箱和管道贴合在一起，也可以防止加热金属丝因热量无法快速散出而发生烧毁现象。

主权项

一种管道加热保温装置，所述管道用于输送气体，其特征在于，所述管道加热保温装置包括保温箱，所述保温箱内设有供所述管道穿越的通道，所述通道的内径和所述管道的外径大小匹配，所述保温箱内还设有加热金属丝，所述加热金属丝设于所述通道的侧边并随通道延伸，所述加热金属丝外接电源。