一种测量大数值孔径显微物镜调制传递函数的装置及方法

摘要

本发明涉及一种测量光学系统调制传递函数的技术，特别涉及一种测量大数值孔径显微物镜调制传递函数的装置及方法。该装置所述的像分析仪(11)包括扫描刀口(8)、扫描控制器(9)、积分球(10)、半导体光电探测器(12)和锁相放大器(13)；扫描刀口(8)安装在积分球(10)的开口前面；扫描控制器(9)接收由控制及数据处理系统(14)发出的控制信号，驱动刀口运动；半导体光电探测器(12)安装在积分球(10)的内壁上，其输出的电流信号经锁相放大器(13)处理后输入到控制及数据处理系统(14)。该装置结构简单，功能扩展性好，工作波段宽，且使用方便，还可用于光学系统调制传递函数的测量。

主权项

一种测量大数值孔径显微物镜调制传递函数的装置，它包括：准直物镜(1)、目标发生器(2)、像分析仪(11)和控制及数据处理系统(14)，其特征在于：所述的像分析仪(11)包括扫描刀口(8)、扫描控制器(9)、积分球(10)、半导体光电探测器(12)和锁相放大器(13)；扫描刀口(8)安装在积分球(10)的开口前面，它们之间的距离≤1mm，扫描刀口(8)的刀口厚度≤1um；扫描控制器(9)接收由控制及数据处理系统(14)发出的控制信号，驱动扫描刀口(8)运动；半导体光电探测器(12)安装在积分球(10)的内壁上，其输出电流信号经锁相放大器(13)输入到控制及数据处理系统(14)处理后输出测量结果。