发明名称 SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL, SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL WAFER, AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1852527(A4) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 EP20040808162 申请日期 2004.12.27
申请人 NIPPON STEEL CORPORATION 发明人 NAKABAYASHI, MASASHI;FUJIMOTO, TATSUO;SAWAMURA, MITSURU;OHTANI, NOBORU
分类号 C30B29/36;C30B23/00 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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