压力波发生装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种压力波发生装置，其具有优良的输出长时间稳定性。该压力波发生装置包括：基板；加热元件层；和热绝缘层，该热绝缘层设置在该基板和该加热元件层之间。在加热元件层通电时产生的温度变化使周围介质(空气)中产生压力波。热绝缘层包括：多孔层；和阻挡层，该阻挡层设置在多孔层和加热元件层之间，用于防止诸如空气中的氧气或水分之类的反应性物质以及杂质扩散到多孔层内。通过形成该阻挡层，能够防止随着时间的流逝由多孔层中的变化引起的压力波发生装置的输出降低。

主权项

一种压力波发生装置，包括：基板；热产生层；以及热绝缘层，所述热绝缘层形成在所述基板和所述热产生层之间，所述压力波发生装置配置为，通过所述热产生层在通电时产生的温度变化在周围介质中产生压力波，其中，所述热绝缘层包括：多孔层；以及阻挡层，该阻挡层形成在所述多孔层和所述热产生层之间，其中所述阻挡层的结构为，其孔隙率和平均孔径比所述多孔层的小，其中所述阻挡层具有多孔结构，并且所述多孔层的至少一部分孔与所述阻挡层的孔连通，其中所述阻挡层通过膨胀所述多孔层的一部分的体积而形成，使得该阻挡层中的大多数孔被密封，从而防止所述介质的成分扩散到所述多孔层中。