发明名称 APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE USING XENON DIFLOURIDE AND METHOD OF DICING
摘要
申请公布号 KR20110108043(A) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 KR20100027318 申请日期 2010.03.26
申请人 CHOI, SEON KYU 发明人 CHOI, SEON KYU
分类号 H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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