发明名称 |
具有晶圆黏片胶带的集成电路及其封装方法 |
摘要 |
本发明是有关于一种具有晶圆黏片胶带的集成电路及其封装方法。该集成电路包含晶片及连接于晶片背部表面的异方性导电膜。晶片具有前表面、位于晶片前表面的反面的背部表面以及暴露于晶片背部表面的硅贯通电极。本发明利用异方性导电膜做为晶片的电性连接层,可以吸收硅贯通电极凸出长度的差异。如此可避免传统封装制程中晶片倾斜的情况,当封装完毕后,晶片可平行于相对应的封装基板。 |
申请公布号 |
CN101350337B |
申请公布日期 |
2011.10.05 |
申请号 |
CN200710301991.7 |
申请日期 |
2007.12.21 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
苏昭源 |
分类号 |
H01L23/485(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/485(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种集成电路结构,其特征在于包含:一晶片,其包含:一前表面;一背部表面位于该晶片的该前表面的反面;以及多个硅贯通电极,凸出于该晶片的该背部表面,且每一该些硅贯通电极具有不同的凸出长度;以及一异方性导电膜贴附于该晶片的该背部表面;其中该些硅贯通电极穿透入该异方性导电膜。 |
地址 |
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |