发明名称 半导体制造用处理管
摘要
申请公布号 TWD143034 申请公布日期 2011.10.01
申请号 TW097305520 申请日期 2008.09.25
申请人 東京威力科創股份有限公司 日本 发明人 高桥清彦 日本
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本