溅镀设备供电系统、电压控制讯号形成系统及方法

主权项

一种溅镀设备供电系统，其包括：一光源，用于提供一光载波；一光学干涉仪，用于对所述光载波进行调制，以便形成一包含复数边频项之调制讯号；一光电转换电路，用于将所述调制讯号转换成为一具有复数边频项之电讯号；一带通滤波电路，用于滤出所述电讯号中所需要之频率项之电讯号；及复数电压控制震荡器，其利用所述被滤出之频率项之电讯号作为电压控制讯号为溅镀设备之阴极及阳极提供电压。