| 发明名称 |
光学投影系统 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI349786 |
申请公布日期 |
2011.10.01 |
| 申请号 |
TW099113576 |
申请日期 |
2006.06.12 |
| 申请人 |
卡爾蔡司ＳＭＴ有限公司 德國 |
发明人 |
罗瑞 尤瑞奇;布拉尼克 弗拉登;尤瑞奇 威尔汉;克拉莫 丹尼尔;瓦伯拉 诺伯特 |
| 分类号 |
G02B13/18;G02B3/12;G03B27/52;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B13/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
江孟贞 台北市大安区敦化南路2段218号5楼A区 |
| 主权项 |
一种光学投影系统，包含：一投影物镜，系规划以将来自一物体平面的辐射成像到一影像平面，该投影物镜具有一光轴，该投影物镜包含沿该光轴之复数个光学元件，该复数个光学元件包含一群光学元件以及最接近该影像平面之一最后光学元件；以及一定位装置，组态以相对该影像平面移动该最后光学元件，其中该投影物镜系规划以用于一微影投影曝光机器；其中一基体在该影像平面之一位置系在该光轴之方向上调整，且其中该定位装置以与该基体之位置之一调整相关联之一比例移动该最后光学元件。 |
| 地址 |
德国 |
