| 发明名称 |
扫描式电子显微镜 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI349948 |
申请公布日期 |
2011.10.01 |
| 申请号 |
TW096147201 |
申请日期 |
2007.12.11 |
| 申请人 |
采鈺科技股份有限公司 新竹市新竹科學工業園區篤行一路12號 |
发明人 |
郭养国 新竹县竹北市新国街154号;邓国星 新竹县北埔乡公园街24号 |
| 分类号 |
H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼 |
| 主权项 |
一种扫描式电子显微镜，包括：一电子束源，产生一初级电子束；一聚焦透镜，聚焦该初级电子束；一基材，其表面形成有一具有一孔隙之钻石膜，以供该初级电子束通过；以及一扫描单元，以该初级电子束对一样品进行二维扫描。 |
| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区笃行一路12号 |
