主权项 |
一种光学式测定装置,其特征在于,具备:屏幕、能移动的载物台、使光向所述载物台上放置的测定对象物照射的照明机构、检测所述载物台移动量的检测机构、把放置在所述载物台上的测定对象物的光学图像在所述屏幕上成像的第一成像机构和第二成像机构、利用所述第一成像机构和所述第二成像机构的任一个把所述光学图像在所述屏幕上成像进行切换的切换机构、记录所述光学图像的记录机构,所述第一成像机构具备:对所述光学图像进行摄像的摄像机构、把所述摄像机构摄像的所述光学图像作为数字形式的图像数据输出的输出机构、根据所述输出机构输出的所述图像数据把所述光学图像向所述屏幕进行投影的投影机构,所述第二成像机构具备:把被所述照明机构照射并被所述测定对象物反射或透射所述测定对象物的光向所述屏幕投影的投影透镜,所述记录机构记录所述第一成像机构的所述输出机构输出的所述图像数据,具备设置在从所述第二成像机构的所述投影透镜朝向所述屏幕的光路上的半透半反镜,所述第一成像机构利用被所述半透半反镜反射或透射所述半透半反镜的光把所述光学图像在所述屏幕上成像,所述第二成像机构利用透射所述半透半反镜或被所述半透半反镜反射的光把所述光学图像在所述屏幕上成像,所述切换机构具备:根据从所述第一成像机构和所述第二成像机构中选择的任一个成像机构而停止向所述半透半反镜进行光照射的停止机构。 |