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发明名称 INTEGRATED THERMAL UNIT
摘要
申请公布号 KR101068328(B1) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 KR20077019641 申请日期 2005.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B05D5/00;H01L21/324;H01L21/677 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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