发明名称 |
场发射显示器的阴极结构 |
摘要 |
本发明提出了一种场发射显示器的阴极结构,包括:基板;阴极层位于所述基板之上;电阻层,位于所述阴极层上,其材料为非晶硅(a-Si);层间介电层,位于所述电阻层上,所述层间介电层具有一第一开口暴露出所述电阻层的部分上表面;以及场发射尖端,位于所述第一开口内的电阻层的部分上表面上并与之电性连接。其中,电阻层通过化学气相沉积(CVD)形成。本发明具有如下优点1)降低成本;2)改善电阻层粒子不稳定情形;3)获得稳定的阻抗值;4)提高产能。 |
申请公布号 |
CN102201317A |
申请公布日期 |
2011.09.28 |
申请号 |
CN201110092518.9 |
申请日期 |
2011.04.08 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
吴德钧;赖颖辉;吴欣桓;黄瀚毅;李仁智;张庆明;郭柏佑 |
分类号 |
H01J29/04(2006.01)I;H01J31/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01J29/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
曾红 |
主权项 |
一种场发射显示器的阴极结构,其特征在于,包括:基板;阴极层位于所述基板之上;电阻层,位于所述阴极层上,其材料为非晶硅(a‑Si);层间介电层,位于所述电阻层上,所述层间介电层具有一第一开口暴露出所述电阻层的部分上表面;以及场发射尖端,位于所述第一开口内的电阻层的部分上表面上并与之电性连接。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号 |