| 发明名称 | 一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及测量方法 | ||
| 摘要 | 一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及利用该标记的测量方法。所述测量标记为连续型标尺型标记。利用此标记通过曝光方法，获取光刻机成像视场中各位置的最佳成像高度，最终拟合出光刻机投影物镜的像面、场曲、高阶场曲等参数。 | ||
| 申请公布号 | CN102200691A | 申请公布日期 | 2011.09.28 |
| 申请号 | CN201010131943.X | 申请日期 | 2010.03.25 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 李术新;毛方林 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种光刻机投影物镜像面在线测量标记，所述标记为连续分布的带有标尺的刻度型标记，所述带有标尺的刻度型标记由刻度线条、位置标识组成。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||