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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP1409763(B1) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 EP20010996635 申请日期 2001.11.08
申请人 COMPAGNIE INDUSTRIELLE DES LASERS CILAS 发明人 GREZES-BESSET, CATHERINE
分类号 C23C14/54;C23C16/52 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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