含有针状结晶的排列体的复合体及其制造方法、以及光电转换元件、发光元件及电容器

摘要

本发明提供一种基体和在该基体表面形成的针状结晶的排列体的复合体，其相对于排列体可良好地分离基体侧和基体的相反侧。该复合体(10)包含：组成基体的透明电极(2)、形成于该透明电极(2)之上的针状结晶(3)的排列体(4)、以及覆盖针状结晶(3)的表面的覆膜(15)。针状结晶(3)例如由氧化锌构成。覆膜(15)例如包含氧化钛。排列体(4)包含透明电极(2)侧的第一区域(R1)和相对于第一区域(R1)透明电极(2)的相反侧的第二区域(R2)，占据平行于透明电极(2)的表面的面的针状结晶(3)的截面的比例，在第二区域(R2)比在第一区域(R1)低，透明电极(2)的表面在第一区域(R1)实质上由针状结晶(3)覆盖。

主权项

一种复合体，其具备：基体、和形成于所述基体表面的由第一氧化物组成的多个针状结晶的排列体、覆盖所述针状结晶的表面且含有第二氧化物的覆膜，所述基体是至少在针状结晶成长后，保持针状结晶的物质，所述第一氧化物以及第二氧化物分别是由Zn、Ti、Zr、Hf、Ni、Fe、Co、Na、K、Li、Mg、Ca、Sr、Ba、Si、Al、Ga、In、V、Nb、Ta、W、Mo、Cr、Sn中的至少一种元素和氧组成的化合物，所述复合体的特征在于，所述排列体包含：所述基体侧的第一区域、相对于所述第一区域在所述基体的相反侧的第二区域，占据平行于所述基体的表面的面的所述针状结晶的截面的比例在所述第二区域比在所述第一区域低，所述基体的表面在所述第一区域由所述针状结晶覆盖。