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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING ALUMINIUM COMPACTS FOR SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
KR20110105502(A)
申请公布日期
2011.09.27
申请号
KR20100024674
申请日期
2010.03.19
申请人
KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY
发明人
OH, IK HYUN;KANG, CHANG SEOG;PARK, HYUN KUK;LEE, SEUNG MIN
分类号
B22F3/12;C23C14/14;C23C14/34
主分类号
B22F3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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