| 摘要 |
<p>【課題】スタンパ等のパターン形成手段を用いた熱転写成形において、被加工材を均一に押圧して安定的かつ高精度な熱転写を実施することができる熱転写成形装置を提供する。【解決手段】固定側枠体２５と、これと合着する可動側枠体３５によって形成されるチャンバ４０と、固定側枠体に配置され固定熱板２１を有する固定側部材２０と、固定熱板と対向配置された可動熱板３１を有する可動側部材３０と、固定熱板の上部に配置されチャンバを固定側チャンバ４１と可動側チャンバ４６に区画し表裏にパターン形成手段Ｓが配置された被加工材Ｍが載置されるダイヤフラム部材５０と、固定熱板とダイヤフラム部材との間に介在される金属製の網状部材５５と、固定側チャンバ内を減圧する固定側減圧手段６０と、固定側チャンバ内を加圧する加圧手段６５と、可動側チャンバ内を減圧する可動側減圧手段７０とを備える。【選択図】図２</p> |
