Vorrichtung zum Entewerfen eines mikromechanischen Bauelements mit angepasster Empfindlichkeit, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Baue

摘要

Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements (100) mit: Bereitstellen (310) einer Schicht (110); Erzeugen (320) zumindest eines ersten Schlitzes (120') in der Schicht (110), um ein über einen ersten Federabschnitt (130') der Schicht (110) schwingfähig aufgehängtes erstes Schwingungselement (150') zu definieren; und Erzeugen (320) zumindest eines zweiten Schlitzes (120) in der Schicht (110), um ein über einen zweiten Federabschnitt (130) der Schicht (110) schwingfähig aufgehängtes zweites Schwingungselement (150) zu definieren; und Bilden (330) eines Grabens (140) in dem zweiten Federabschnitt (130) in einer Hauptoberfläche (112) der Schicht (110), wobei eine Resonanzfrequenz (f1) des ersten Schwingungselements (150') unterschiedlich von einer Resonanzfrequenz (f2) des zweiten Schwingungselements (150) ist, und der erste Federabschnitt (130'), der zweite Federabschnitt (130) und der Graben (140) derart gebildet sind, dass bei einem anisotropen lateralen Materialabtrag (–&Dgr;b) oder einer anisotropen lateralen Materialhinzufügung (+&Dgr;b) des ersten Federabschnittes (130') und des zweiten Federabschnittes (130) ein...