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发明名称 MEMS DEVICE HAVING COINED METAL FOIL MEMBRANE AND MANUFACTURING METHOD
摘要 <p>A MEMS device is disclosed comprising a micro-machined bulk body and fixed thereto a membrane comprising a coined metal foil.</p>
申请公布号 WO2011113495(A1) 申请公布日期 2011.09.22
申请号 WO2010EP53646 申请日期 2010.03.19
申请人 EPCOS AG;MORTENSEN, DENNIS;DAMSGAARD, CHRISTIAN DANVAD;HANSEN, OLE 发明人 MORTENSEN, DENNIS;DAMSGAARD, CHRISTIAN DANVAD;HANSEN, OLE
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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