发明名称 积体电感结构
摘要
申请公布号 TWI349362 申请公布日期 2011.09.21
申请号 TW096146738 申请日期 2007.12.07
申请人 瑞昱半导体股份有限公司 发明人 黄凯易;叶达勋;简育生
分类号 H01L27/04;H01L21/761;H01L21/76;H01F29/00 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人 吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项 一种积体电感结构,包含有:一半导体基底;一电感金属层,设于该半导体基底上;至少一介电层,介于该半导体基底与该电感金属层之间;以及一井防护层(well shielding layer),设于该电感金属层正下方的该半导体基底中,该井防护层包含有呈棋盘状排列的复数个N型掺杂区域以及复数个P型掺杂区域。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型掺杂区域彼此互相电连接。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型掺杂区域系连接至一相对于该半导体基底为正的偏压。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中另包含一P型拾取环,设于该半导体基底中,并环绕该井防护层。如申请专利范围第4项所述之一种积体电感结构,其中该P型拾取环接地。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型掺杂区域包含有复数个外圈N型掺杂区域,且该复数个外圈N型掺杂区域与该电感金属层互不重叠。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中该复数个外圈N型掺杂区域电连接至一金属拾取环。如申请专利范围第7项所述之一种积体电感结构,其中该金属拾取环系接至一VDD电压。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型掺杂区域系藉由扩散而互相电性连接在一起。如申请专利范围第1项所述之一种积体电感结构,其中该半导体基底为一P型矽基底。一种积体电感结构,包含有:一半导体基底;一电感金属层,设于该半导体基底上;至少一介电层,介于该半导体基底与该电感金属层之间;以及一井防护层,设于该电感金属层正下方的该半导体基底中,该井防护层包含有复数个N型井以及复数个P型井,其中该N型井系由一深N型井以及一形成在该深N型井内的N-井所构成。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型井以及该复数个P型井呈棋盘状排列。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型井彼此互相电连接。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型井系连接至一相对于该半导体基底为正的偏压。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中另包含一P型拾取环,设于该半导体基底中,并环绕该井防护层。如申请专利范围第15项所述之一种积体电感结构,其中该P型拾取环接地。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型井包含有复数个外圈N型井,其与该电感金属层不重叠。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该复数个外圈N型井电连接至一金属拾取环。如申请专利范围第18项所述之一种积体电感结构,其中该金属拾取环系接至一VDD电压。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该复数个N型井系藉由扩散而互相电性连接在一起。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该半导体基底为一P型矽基底。如申请专利范围第11项所述之一种积体电感结构,其中该N型井另包含有一N+掺杂区,形成在该N-井内。
地址 新竹市新竹科学园区创新二路2号