| 主权项 |
一种气体供应集合单元，其特征在于具有：第1气体单元，系控制第1气体的供给；第2气体单元，系和该第1气体单元连接，并利用复数个流体控制器控制汇合至该第1气体单元的第2气体；以及叠层组件，系和该第1气体单元重叠，将该流体控制器之一部分和该叠层组件重叠，其中该叠层组件系以覆盖该第1气体单元所含之配管的方式设置。如申请专利范围第1项之气体供应集合单元，其中该叠层组件具有：固定部，系用以固定被放置该流体控制器之一部分的下部流路组件；及保持沟，系和该第1气体单元抵接；并安装加热器。如申请专利范围第1项之气体供应集合单元，其中该流体控制器之一部分系质量流量控制器或质量流量计。 |
